产品详情
产品说明：
PFA花篮 / 清洗花蓝 / 铁氟龙卡匣 / 铁氟龙晶舟盒 / 铁氟龙晶圆盒为承载半导体晶圆片/硅片的容器，可依照客户需求设计，全氟烷氧基材質有优良的化学稳定性，耐高温200~220℃、耐酸耐碱耐腐蚀(强酸、强氟酸、强碱)，主要用于半导体蚀刻部门之酸碱制程中使用、传送晶圆。
产品特点：
● Cassette依材质特性的选择參考：
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PFA花篮 / 清洗花蓝 / 铁氟龙卡匣 / 铁氟龙晶舟盒 / 铁氟龙晶圆盒为承载半导体晶圆片/硅片的容器，可依照客户需求设计，全氟烷氧基材質有优良的化学稳定性，耐高温200~220℃、耐酸耐碱耐腐蚀(强酸、强氟酸、强碱)，主要用于半导体蚀刻部门之酸碱制程中使用、传送晶圆。
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